Microsystèmes et nanomatériaux (MINAMAT)

Présentation

 MINAMAT réunit trois équipes travaillant sur les thèmes suivants :

• Nanostructuration de surface des semiconducteurs  III-V et III-N et analyse de surface par spectroscopies électroniques (AES, XPS, UPS, EPES, EELS) (Surface et Interface).
• 3VAH : Croissance de semiconducteurs III-V et III-N par épitaxie en phase vapeur aux hydrures HVPE - Nanofils, nanogratings (3VAH : Epitaxie HVPE).
• Développement de microsystèmes de capteurs chimiques pour la métrologie sélective d'éléments faiblement concentrés : polluants atmosphériques, domestiques... (Systèmes et Microsystèmes Capteurs Chimiques).

Responsable